離子探針,離子探針的組成，分類，原理，特點(diǎn)，應(yīng)用，研究分析
主要包括四部分：
1、能夠產(chǎn)生加速和聚焦一次離子束的離子源；
2、樣品室和二次離子引出裝置；
3、能把二次離子按質(zhì)荷比分離的質(zhì)量分析器；
4、二次離子檢測(cè)和顯示系統(tǒng)及計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等。
離子探針大致可為以下幾類：
1.非成像離子探針
2.離子顯微鏡
3.掃描離子微探針
4.圖像解剖離子探針
離子探針的原理是利用能量為1～20KeV的離子束照射在固體表面上，激發(fā)出正、負(fù)離子（濺射），利用質(zhì)譜儀對(duì)這些離子進(jìn)行分析，測(cè)量離子的質(zhì)荷比和強(qiáng)度，從而確定固體表面所含元素的種類和數(shù)量。
被加速的一次離子束照射到固體表面上，打出二次離子和中性粒子等，這個(gè)現(xiàn)象稱作濺射。濺射過程可以看成是單個(gè)入射離子和組成固體的原子之間獨(dú)立的、一連串的碰撞所產(chǎn)生的。 右圖說明入射的一次離子與固體表面的碰撞情況。
