二次離子質譜儀,二次離子質譜儀的基本結構，組成，原理，優(yōu)缺點，應用
二次離子質譜儀視其應用之不同而有各種不同的型式，其基本構造可分為下列四大部分：
�。�1）照射激發(fā)用的一次離子束的離子槍；
�。�2）以能量選擇由試品產生的二次離子能量過濾器；
�。�3）進行質量選擇的質譜儀；
�。�4）放大、檢測經(jīng)質量選擇後的二次離子檢測輸出信號。
�。�1） 離子源
�。�2） 一次離子電鏡
�。�3） 樣品室
（4） 二次離子電鏡
�。�5） 能譜儀
�。�6） 質譜儀
�。�7） 二次離子探測器
1. 利用聚焦的一次離子束在樣品表面上進行穩(wěn)定的轟擊，一次離子可能受到樣品表面的背散射，也有部分進入樣品表面，這部分離子把能量傳遞給晶格，當入射能量大于晶格對原子的束縛能是，部分原子脫離晶格向表面運動，并且產生原子間的級聯(lián)碰撞，當這一能量傳遞到表面，并且大于表面的束縛能時，促使表面原子脫離樣品，謂之濺射；
2. 上述一次離子引發(fā)的濺射大部分為中性原子或分子，也有少量荷電集團，包括帶電離子、分子、原子團，按照荷質比經(jīng)過質譜分離；
3. 收集經(jīng)過質譜分子的二次離子，可以得知樣品表面和體內的元素組成和分布。
二次離子質譜儀分析的優(yōu)點：
�。�1）偵測極限可達 ppm，甚至到 ppb等級；
�。�2）周期表上所有元素均可偵測；
�。�3）可以區(qū)分同位素；
�。�4）可分析不導電試片；
�。�5）縱深解析度一般為10 ~ 20 nm，最佳達2 ~ 5 nm；
�。�6）由分子離子的相對含量可得到化學狀態(tài)的訊息；
