聲表面波氣敏傳感器,聲表面波氣敏傳感器的分類,聲表面波氣敏傳感器參數(shù)指標(biāo)等
聲表面波氣敏傳感器涉及重點(diǎn)在于化學(xué)界面膜、SAW傳感器及電子線路3個(gè)方面。在應(yīng)用中，為了消除環(huán)境溫度、壓力、濕度等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，通常采用雙通道結(jié)構(gòu)，如下圖所示。一個(gè)通道上鍍以敏感膜用于測(cè)量，另一個(gè)是未鍍膜的參考通道用于對(duì)環(huán)境溫度、壓力、濕度等因素的補(bǔ)償，通過(guò)計(jì)算可以得到兩者間頻率的差，從而得出待測(cè)氣體濃度。
一個(gè)完整的聲表面波氣敏傳感器通常由石英聲表面波裝置（ST-Quartz SAW Device）、SAW裝置檢測(cè)片（SAW Device Detector Block）、振幅測(cè)量系統(tǒng)（Amplitude Measurement System）、相測(cè)量系統(tǒng)（Phase Measurement System）、頻率測(cè)量系統(tǒng)（Frequency Measurement System）、壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)（Pressure MONitoring System）、溫度控制系統(tǒng)（Temperature Control System）、溫度壓力檢測(cè)儀（Temperatureand Pressure Test Apparatus）、數(shù)據(jù)軟件（Data Acquisition Software）等組成，這些設(shè)備共同構(gòu)成SAW傳感器，完成檢測(cè)。
