◆外殼均采用304不銹鋼材料制作,表面磨光處理。外觀簡潔、流暢。
◆工作機器支架及硅片盒夾具均采用耐腐蝕、經(jīng)特殊亞光電化學處理的不銹鋼材料。
◆配置:磁力驅(qū)動循環(huán)水泵,水箱總?cè)莘e0.3m?,硅片水床滑臺,滾珠絲桿傳動三工位升降花籃座,三菱高分辨率MR-J2S系列伺服電機,三菱可編程序控制器、Autonics傳感器,eao按鈕。
◆125mm~156mm硅片通用,節(jié)拍40~60片/min。
◆手動調(diào)整,自動排片(需人工上料)。
◆全封閉設(shè)計,美觀大方;一體式組合腳輪,定位、移動兩便。
◆管路、水過濾器及閥門等管件均采用304不銹鋼材料。
◆電器傳動系統(tǒng)采用PLC可編程控制器及高分辨率伺服電機;機械傳動采用直線軸承滑塊、直線軸及滾珠絲桿副,結(jié)構(gòu)簡潔,運動精度高。
◆花籃就位檢測,排片滯留報警;可防止碎片和放發(fā)生故障。
◆快換花籃治具,適應(yīng)隨時更換產(chǎn)品;水床滑臺、水流助推提高排片可靠性。
◆產(chǎn)品執(zhí)行標準:符合國家相關(guān)工業(yè)技術(shù)標準。
型號 BAM-6/8
外形尺寸(長×寬×高) 1420×760×2000
硅片規(guī)格 125mm~156mm厚度0.16~0.2mm
硅片盒片距 4.76mm
控制系統(tǒng) PLC可編程控制器
電源規(guī)格 單相交流220V50Hz工業(yè)電源
裝機容量 0.7KW