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真空傳感器,真空傳感器的分類,真空傳感器參數(shù)指標(biāo)等
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真空傳感器,真空傳感器的分類,真空傳感器參數(shù)指標(biāo)等  2011/10/3

目錄

  • 真空傳感器結(jié)構(gòu)
  • 真空傳感器的工作原理
  • 真空傳感器的技術(shù)指標(biāo)
  • 真空傳感器特征
真空傳感器

真空傳感器結(jié)構(gòu)

  •   真空傳感器由玻璃襯底、下電極、絕緣層、硅膜片( 上電極) 、上層密封用的玻璃組成, 其中下電極濺射在玻璃襯底上, 電極上生長(zhǎng)一絕緣層; 硅膜是利用硅片的雙面光刻、擴(kuò)散和各向異性腐蝕技術(shù)形成的。該電容式真空傳感器有兩個(gè)腔體, 其中上面的腔體是一個(gè)真空腔, 下面的腔體是鍵合形成的, 這個(gè)腔體不是密封的, 腔內(nèi)氣體與外界氣體相通。電容器的兩平板間的距離可由硅片腐蝕的深度控制, 硅膜片與玻璃電極之間的間隙很小, 這也是硅電容式傳感器靈敏度高的原因。

真空傳感器的工作原理

  •   真空度是指低于大氣壓力的氣體的稀薄程度,通常以壓力來(lái)表示真空度,壓力高意味著真空度低,壓力低意味著真空度高。由于真空傳感器上面的腔體是真空腔體,在大氣壓力下,作為傳感器敏感元件的硅膜片在壓力的作用下會(huì)向上鼓起。當(dāng)真空傳感器下面腔體內(nèi)的真空度不同時(shí),硅膜片向上鼓起的程度就不同,硅膜片向上鼓起使得電容兩極板之間的距離發(fā)生變化,根據(jù)平板電容的公式可知電容也隨之發(fā)生化,真空度與電容值是對(duì)應(yīng)的,電容值隨著真空度的變化而變化。由于電容值與真空度的關(guān)系,電容值的變化通過(guò)測(cè)量電路轉(zhuǎn)換為電壓或頻率信號(hào),檢測(cè)電壓或頻率信號(hào)可以得到對(duì)應(yīng)的真空度。

真空傳感器的技術(shù)指標(biāo)

  •   1. 測(cè)量范圍     1×10-4~1000Torr,1×10-4~1333mbar,1×10-2Pa~133kPa

      2. 解析率       1×10-4 Torr,1×10-4 mbar,1×10-2Pa

      3. 工作溫度     0~50℃

      4. 烘烤溫度     150℃(僅限于表,電子元件移除)

      5. 工作濕度     0~95%RH,非冷凝

      6. 安裝方向     水平(建議)

      7. 接液材質(zhì)     鍍金鎢,304 和316 不銹鋼,玻璃,鎳,特氟龍

      8. 內(nèi)部容積     26cm3(1.589in3)

      9. 內(nèi)部表面面積  59.7cm2(9.25in2)

      10.泄漏率       <1×10-9atm cc/sec He

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