1. 測(cè)量范圍 1×10-4~1000Torr,1×10-4~1333mbar,1×10-2Pa~133kPa
2. 解析率 1×10-4 Torr,1×10-4 mbar,1×10-2Pa
3. 工作溫度 0~50℃
4. 烘烤溫度 150℃(僅限于表,電子元件移除)
5. 工作濕度 0~95%RH,非冷凝
6. 安裝方向 水平(建議)
7. 接液材質(zhì) 鍍金鎢,304 和316 不銹鋼,玻璃,鎳,特氟龍
8. 內(nèi)部容積 26cm3(1.589in3)
9. 內(nèi)部表面面積 59.7cm2(9.25in2)
10.泄漏率 <1×10-9atm cc/sec He