英國威格斯公司(Victrexplc)在供應(yīng)鏈、技術(shù)與市場支持及新產(chǎn)品開發(fā)方面,持續(xù)進行戰(zhàn)略性投資,致力為世界各地的客戶提供穩(wěn)定的高性能產(chǎn)品供應(yīng)。由于其它工程塑料目前在供貨方面出現(xiàn)問題,對于尋求高質(zhì)量、高性能材料穩(wěn)定供應(yīng)的終端用戶來說,威格斯公司及VICTREXPEEK產(chǎn)品系列提供了非常理想的解決方案。近年來,許多半導(dǎo)體晶圓制造廠已經(jīng)關(guān)注到用于化學(xué)機械磨平(CMP)保持環(huán)的工程塑料(如某些聚苯硫醚(PPS)品級材料),存在著供應(yīng)不穩(wěn)定或
英國威格斯公司 (Victrex
plc) 在
供應(yīng)鏈、技術(shù)與市場支持及新產(chǎn)品開發(fā)方面,持續(xù)進行戰(zhàn)略性投資,致力為世界各地的客戶提供穩(wěn)定的高性能產(chǎn)品供應(yīng)。由于
其它工程塑料目前在供貨方面出現(xiàn)問題,對于尋求高質(zhì)量、高性能材料穩(wěn)定供應(yīng)的終端用戶來說,威格斯公司及VICTREX PEEK 產(chǎn)品
系列提供了非常理想的解決方案。近年來,許多半導(dǎo)體晶圓制造廠已經(jīng)關(guān)注到用于化學(xué)機械磨平 (
CMP) 保持環(huán)的工程塑料 (如某些聚苯硫醚 (
PPS) 品級材料),存在著供應(yīng)不穩(wěn)定或交貨期極長的問題。VICTREX PEEK聚合物正好為這些應(yīng)用領(lǐng)域提供公認(rèn)的卓越性能。
目前,威格斯公司通過制造商 (fabricator) 的網(wǎng)絡(luò)為世界各地包括歐洲、中國大陸、TW、日本及韓國等地的許多晶圓制造廠供應(yīng) VICTREX PEEK 聚合物。Strasbaugh公司工程項目經(jīng)理Bill Kalenian說：“我們多年來一直采用 VICTREX PEEK 聚合物制造CMP保持環(huán),客戶對效果非常滿意。VICTREX PEEK 聚合物因其獨特的性能,包括固有高純度、強度、耐化學(xué)品性能及耐磨損性能,被公認(rèn)為用于 CMP
環(huán)的最佳高性能熱塑性材料之一。由于 VICTREX PEEK聚合物具有滿足嚴(yán)格公差的加工能力,并兼容拋光液 (slurries) 等工藝成分,因此非常適合于 CMP環(huán)應(yīng)用,可以在制造過程中傳送更多的晶圓,從而減少停工時間,并降低每片晶圓的成本�！� Strasbaug 公司從美國德克薩斯州Humble市的CDI Seals 公司購買VICTREX PEEK聚合物。
威格斯公司美洲區(qū)半導(dǎo)體經(jīng)理 John Walling 稱：“這個領(lǐng)域的主要推動力之一是開發(fā)更好和更耐磨的CMP環(huán),以配合其它關(guān)鍵CMP設(shè)備部件如CMP頂部裝置的先進性能。以往,CMP環(huán)采用的材料包括PPS,但是實際試驗表明,由VICTREX PEEK 聚合物制造的 CMP環(huán),其使用壽命是PPS 產(chǎn)品的2.5倍。威克斯公司深切了解到市場對一致性的長壽命部件的需求,因此正在不斷開發(fā)材料,從而與這些技術(shù)進展保持同步。”
Walling續(xù)稱：“在半導(dǎo)體市場,尤其是CMP保持環(huán)方面,我們的高性能聚芳醚酮材料對于工藝的成敗起著決定性作用。有些美國和亞洲客戶因著我們的應(yīng)用專業(yè)技術(shù),加上VICTREX PEEK聚合物的固有高純度、高強度特性以及優(yōu)良耐化學(xué)品性能、耐高溫性能和電氣性能,以 VICTREX PEEK來取代PPS。VICTREX PEEK聚合物制造的CMP環(huán)可以在制造過程中傳送更多的晶圓,從而減少停工時間,并降低每片晶圓的成本。”
圖1：VICTREX PEEK品級產(chǎn)品與PPS的磨損率對比
數(shù)據(jù)是采用Rodel拋光墊及
SS12氧化物拋光液,在磨擦 CMP測試儀中心所收集的。這些結(jié)果在
多種環(huán)境下均已獲得驗證。
威格斯的供應(yīng)鏈戰(zhàn)略
威格斯公司商業(yè)總監(jiān) Blair Souder 稱：“我們不可低估半導(dǎo)體領(lǐng)域供應(yīng)穩(wěn)定的重要性。對于半導(dǎo)體晶圓制造廠,在需要時能夠及時獲得材料是非常重要的。晶圓制造廠是每周7天、每天
24小時不停運作的工廠,它們必須穩(wěn)定地獲得高質(zhì)量而且批次一致的材料供應(yīng)。如果無法獲取所需的材料,因延誤而造成的損失是無法估量的。因為這不僅是耽誤了晶圓的生產(chǎn),而且因終端產(chǎn)品推出日期推遲,隨后對消費者市場產(chǎn)生的不良影響,也是十分嚴(yán)重的�！�
