微加速度計,微加速度計的分類,微加速度計參數(shù)指標等
微加速度計按檢測方式，可分為壓阻式、電容式、隧道式、共振式、熱形式等幾種。
1. 壓阻式加速度計：通過在質(zhì)量塊的支撐（suspension）上嵌有壓敏電阻來感應質(zhì)量塊偏移對支撐產(chǎn)生的應力進而獲得加速度的信息。壓阻式的主要問題是靈敏度較低，而且溫度穩(wěn)定性不好，一般需要大的質(zhì)量塊和溫度補償。
2. 電容式：質(zhì)量快的位移導致其本和另一極板之間的電容發(fā)生變化，或者是質(zhì)量快上有梳狀電極，位移導致感應電極之間的電容量變化。通過測量電容量的變化獲得質(zhì)量快位移的變化進而知道加速度。電容式的優(yōu)點是靈敏度高，噪聲小，溫度穩(wěn)定性好，缺點是易受電磁干擾，需要特別封裝。
3. 隧道電流式：通過在活動部件上添加一個隧穿針尖和另一個電極之間通有隧穿電流。當載體具有加速度時，活動部件的位移會導致隧道電流的劇烈變化（典型的是位移變化一個�！�10^-10米，隧道電流變化一倍），通過測量隧道電流可以獲得很高的加速度的感應靈敏度，而且由于質(zhì)量快可以做的很小，因此器件的體積很小，缺點是低頻噪聲很大，供電電壓較高（上百伏）。
4. 諧振式：通過質(zhì)量塊受到的慣性力來改變另一根梁的軸向應力進而改變梁的共振頻率。通過共振頻率的測量就可以獲得加速度的信息。
5. 熱傳感式：質(zhì)量塊的位移改變質(zhì)量塊和散熱之間的間距進而改變質(zhì)量快的溫度，通過測量溫度的變化來感知加速度。
