電感耦合等離子體質(zhì)譜儀由等離子體發(fā)生器,霧化室,炬管,四極質(zhì)譜儀和一個快速通道電子倍增管(稱為離子探測器或收集器)組成。
工作原理是:霧化器將溶液樣品送入等離子體光源,在高溫下汽化,解離出離子化氣體,通過銅或鎳取樣錐收集的離子,在低真空約133.322帕壓力下形成分子束,再通過1~2毫米直徑的截取板進(jìn)入四極質(zhì)譜分析器,經(jīng)濾質(zhì)器質(zhì)量分離后,到達(dá)離子探測器,根據(jù)探測器的計數(shù)與濃度的比例關(guān)系,可測出元素的含量或同位素比值。