電子能譜儀,電子能譜儀的結(jié)構(gòu)，工作原理，優(yōu)缺點(diǎn)，功能，應(yīng)用
電子能譜儀的優(yōu)點(diǎn)：
�。�1）分析速度快 能譜儀可以同時(shí)接受和檢測(cè)所有不同能量的X射線光子信號(hào)，故可在幾分鐘內(nèi)分析和確定樣品中含有的所有元素，帶鈹窗口的探測(cè)器可探測(cè)的元素范圍為11Na~92U,20世紀(jì)80年代推向市場(chǎng)的新型窗口材料可使能譜儀能夠分析Be以上的輕元素，探測(cè)元素的范圍為4Be~92U.
�。�2）靈敏度高 X射線收集立體角大。由于能譜儀中Si（Li）探頭可以放在離發(fā)射源很近的地方（10㎝左右），無需經(jīng)過晶體衍射，信號(hào)強(qiáng)度幾乎沒有損失，所以靈敏度高（可達(dá)104cps/nA,入射電子束單位強(qiáng)度所產(chǎn)生的X射線計(jì)數(shù)率）。此外，能譜儀可在低入射電子束流（10-11A）條件下工作，這有利于提高分析的空間分辨率。
�。�3）譜線重復(fù)性好。由于能譜儀沒有運(yùn)動(dòng)部件，穩(wěn)定性好，且沒有聚焦要求，所以譜線峰值位置的重復(fù)性好且不存在失焦問題，適合于比較粗糙表面的分析工作。
電子能譜儀的缺點(diǎn)：
�。�1）能量分辨率低，峰背比低。由于能譜儀的探頭直接對(duì)著樣品，所以由背散射電子或X射線所激發(fā)產(chǎn)生的熒光X射線信號(hào)也被同時(shí)檢測(cè)到，從而使得Si（Li）檢測(cè)器檢測(cè)到的特征譜線在強(qiáng)度提高的同時(shí)，背底也相應(yīng)提高，譜線的重疊現(xiàn)象嚴(yán)重。故儀器分辨不同能量特征X射線的能力變差。能譜儀的能量分辨率（130eV）比波譜儀的能量分辨率（5eV）低。
�。�2）工作條件要求嚴(yán)格。Si（Li）探頭必須始終保持在液氦冷卻的低溫狀態(tài)，即使是在不工作時(shí)也不能中斷，否則晶體內(nèi)Li的濃度分布狀態(tài)就會(huì)因擴(kuò)散而變化，導(dǎo)致探頭功能下降甚至完全被破壞。
