統(tǒng)計(jì)工藝控制在GaAs集成電路生產(chǎn)中的應(yīng)用
統(tǒng)計(jì)工藝控制(SPC)是把基本的統(tǒng)計(jì)概念運(yùn)用到生產(chǎn)過(guò)程中收集的單個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)和系列數(shù)據(jù)點(diǎn)上的一種統(tǒng)計(jì)分析和工藝控制手段。運(yùn)用統(tǒng)計(jì)分析,可以根據(jù)工藝以往的輸出記錄迅速地判斷出一個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)是否處在控制狀態(tài)。
由于SPC可減少變異和缺陷,因此它是“產(chǎn)品不斷提高”這一生產(chǎn)思想的組成部分。在這一生產(chǎn)原則中,有效地運(yùn)用統(tǒng)計(jì)工藝控制可提高產(chǎn)品的性能和質(zhì)量,還可提高成品率,縮短周期時(shí)間,增加產(chǎn)品研制一次通過(guò)的可能性,從而縮短新品研制周期,降低產(chǎn)品的成本。
隨著GaAs生產(chǎn)技術(shù)的日益成熟,在批量生產(chǎn)中僅僅以達(dá)到產(chǎn)品最大性能為目標(biāo)是不夠的,還必須要減少產(chǎn)品的可變性。要實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)就必須通過(guò)有效的途徑,找出并減少產(chǎn)品的變化源。SPC方法為連續(xù)監(jiān)控工藝變化和評(píng)價(jià)工藝改進(jìn)效果提供了有力而又便于實(shí)施的統(tǒng)計(jì)分析手段。統(tǒng)計(jì)概念經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)化后形成一套便于收集數(shù)據(jù)時(shí)使用的準(zhǔn)則。通過(guò)這些準(zhǔn)則就可對(duì)工藝中會(huì)增加產(chǎn)品變化的偏離情況進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控。
