助您加快產(chǎn)品上市時(shí)間、提高器件成品率DesignScan能在將掩膜版設(shè)計(jì)提交生產(chǎn)之前發(fā)現(xiàn)任何聚焦和曝光條件下的全部缺陷類型KLA-Tencor近日正式發(fā)布了業(yè)界第一套用于post-RET（分辨率增強(qiáng)技術(shù)）掩膜版設(shè)計(jì)版面(reticledesignlayout)檢測(cè)的完整芯片光刻制程工藝窗口(lithographyprocesswindow)（允許誤差空間）檢測(cè)系統(tǒng)。DesignScan能使芯片生產(chǎn)商減少掩膜版的設(shè)計(jì)修正次數(shù),獲得高成品率的設(shè)計(jì),以實(shí)現(xiàn)更好的參數(shù)化設(shè)計(jì)性能和快速的上市
助您加快產(chǎn)品上市時(shí)間、提高器件成品率
DesignScan 能在將掩膜版設(shè)計(jì)提交生產(chǎn)之前
發(fā)現(xiàn)任何聚焦和曝光條件下的全部缺陷類型
KLA-Tencor 近日正式發(fā)布了業(yè)界第一套用于 post-RET（分辨率增強(qiáng)技術(shù)）掩膜版設(shè)計(jì)版面 (reticle design layout)檢測(cè)的完整芯片光刻制程工藝窗口(lithography process window)（允許誤差空間）檢測(cè)系統(tǒng)。DesignScan 能使芯片生產(chǎn)商減少掩膜版的設(shè)計(jì)修正次數(shù),獲得高成品率的設(shè)計(jì),以實(shí)現(xiàn)更好的參數(shù)化設(shè)計(jì)性能和快速的上市時(shí)間。通過 DesignScan 可在將設(shè)計(jì)提交到掩膜版生產(chǎn)之前識(shí)別并優(yōu)化設(shè)計(jì)相關(guān)的影響性能和成品率的圖形。DesignScan 特別適合極其精細(xì)且易出現(xiàn)問題的 90 納米及以下光刻制程工藝窗口設(shè)計(jì)。一些領(lǐng)先的集成器件生產(chǎn)商 (IDM)、代工廠 (foundry) 以及無工廠芯片生產(chǎn)商 (fabless companies) 正在對(duì) DesignScan 進(jìn)行使用評(píng)估。
DesignScan 可對(duì) post-RET 掩膜版設(shè)計(jì)進(jìn)行在線檢測(cè),以發(fā)現(xiàn)光刻制程工藝窗口中的錯(cuò)誤。通過與 LithoView 配合使用,具有的新功能可加強(qiáng)代工廠和無工廠芯片生產(chǎn)商之間的協(xié)作,DesignScan 能識(shí)別影響性能和成品率的圖形,并將這些信息向上反饋到無工廠的設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu)。LithoView 允許無工廠設(shè)計(jì)機(jī)構(gòu)能查看由 DesignScan 檢測(cè)到的結(jié)果。DesignScan 可為晶片光刻制程工藝優(yōu)化設(shè)計(jì),為光刻制程工藝優(yōu)化 post-RET 掩膜版版面,以及為設(shè)計(jì)優(yōu)化光刻制程工藝,進(jìn)而提高光刻制程工藝窗口的設(shè)計(jì)性能。
“由于掩膜版版面總是不斷偏離設(shè)計(jì)目標(biāo),因此為生產(chǎn)而設(shè)計(jì) (DFM) 顯得非常重要,”KLA-Tencor 掩膜版和光掩膜檢測(cè)事業(yè)部 (RAPID) 總經(jīng)理 Harold Lehon 指出�！白鳛橐患抑铝τ诔善仿使芾淼墓�,KLA-Tencor 始終專注于使半導(dǎo)體生產(chǎn)公司能更好地進(jìn)行決策,并在半導(dǎo)體價(jià)值鏈的所有層次上提高成品率。通過 DesignScan 等方案,我們可以將我們的成品率知識(shí)和專業(yè)技術(shù)向上延伸到 post-RET 設(shè)計(jì)階段。”
光刻工藝要求對(duì)掩膜版版面采用極其復(fù)雜的 RET,例如
OPC 功能,以便獲得成功的圖形。在設(shè)計(jì)中加入 OPC 之后,必須通過檢測(cè)以確保沒有任何可能導(dǎo)致圖形缺陷的設(shè)計(jì)錯(cuò)誤,并確保能在掩膜版生產(chǎn)之前為給定工藝設(shè)計(jì)提供合理的光刻制程工藝窗口。盡早地檢測(cè)到這些錯(cuò)誤是非常關(guān)鍵的,因?yàn)樵谘谀ぐ嫔a(chǎn)之前發(fā)現(xiàn)的設(shè)計(jì)錯(cuò)誤可能只需幾天或一周就能加以糾正,但是如果等到在代工廠才檢測(cè)到錯(cuò)誤,則會(huì)導(dǎo)致數(shù)個(gè)月的時(shí)間延誤。DesignScan 為檢測(cè)和優(yōu)化工藝窗口提供了最快的周轉(zhuǎn)時(shí)間。
