LED外延片制造技術的關鍵 2012/5/8
外延技術與設備是外延片制造技術的關鍵所在。氣相外延( VPE)、液相外延(IPE)、分子束外延(MBE)和金屬有機化合物氣相外延( MOCVD)都是常用的外延技術。大量LED外延片實踐證明，MOCVD是一種工業(yè)化的實用技術。當前LED外延片，MOCVD工藝已成為制造絕大多數(shù)光電子材料的基本技術。
◆MOVCD反應系統(tǒng)的技術要求
先進的MOCVD裝置首先應具有～個能LED外延片同時生長多片均勻材料并能長時間保持技術,關鍵穩(wěn)定的生長系統(tǒng)，該系統(tǒng)不但有很高的產(chǎn)出量，而且能在短時間內(nèi)生長出具有預定器件結構的單片材料。
精確的過程控制是保證重復和靈活地調(diào)整并生產(chǎn)技術,關鍵先進LED器件復雜結構的必備技術。先進的MOCVD設備具有精確的對于載氣和反應劑的壓力與流量控制系統(tǒng)，并配備有快速的氣體轉(zhuǎn)換開關和壓力平衡裝置，并且應選用合適的結構，用于減少反應劑的記憶效應，優(yōu)化反應劑的濃度，以及改善生長區(qū)溫度場的均勻分布狀況。
優(yōu)異的控制技術與生產(chǎn)高質(zhì)量的外延材料技術,關鍵密切相關。在實際生產(chǎn)中，必須保持影響外延層性能的參數(shù)盡可能恒定，特別要捕捉那些敏感參數(shù)并加以特殊關注。嚴密監(jiān)控外延過程中如生長速率、組分、摻雜、表面形貌與結晶質(zhì)量等重要參數(shù)。
