陶瓷基片是一種常用的電子封裝基片材料,與塑 封料和金屬基片相比,其優(yōu)勢(shì)在于以下幾個(gè)方面:
1) 絕緣性能好,可靠性高。高電阻率是電子元件對(duì)基片 的最基本要求,一般而言,基片電阻越大,封裝可靠 性越高,陶瓷材料一般都是共價(jià)鍵型化合物,其絕緣 性能較好。
2) 介電系數(shù)較小,高頻特性好。陶瓷材料 的介電常數(shù)和介電損耗較低,可以減少信號(hào)延遲時(shí)間, 提高傳輸速度。
3) 熱膨脹系數(shù)小,熱失配率低。共價(jià) 鍵型化合物一般都具有高熔點(diǎn)特性,熔點(diǎn)越高,熱膨 脹系數(shù)越小,故陶瓷材料的熱膨脹系數(shù)一般較小。
4) 熱導(dǎo)率高。根據(jù)傳統(tǒng)的傳熱理論,立方晶系的BeO、 SiC 和AlN 等陶瓷材料,其理論熱導(dǎo)率不亞于金屬的。
因此,陶瓷基片材料被廣泛應(yīng)用于航空、航天和軍事 工程的高可靠、高頻、耐高溫、強(qiáng)氣密性的產(chǎn)品封裝。 陶瓷基片材料的封裝一般為多層陶瓷基片封裝, 該技術(shù)源于1961 年P(guān)ARK 發(fā)明的流延工藝,后來被 廣泛地用于混合集成電路(HIC)和多芯片模件(MCM) 陶瓷封裝。