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白光干涉儀產品特點

• 　　1、非接觸式測量：避免物件受損。

  　　2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm。

  　　3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

  　　4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達到0.1nm。

  　　5、高速數(shù)字信號處理器：實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。

  　　6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。

  　　7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。

  　　8、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算。

白光干涉儀技術參數(shù)

白光干涉儀應用領域

• 　　1、TFT產業(yè)

  　　2、半導體

  　　3、MEMS

  　　4、高�？蒲�

  　　5、精密加工