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　　◆  X向測量參數(shù)

　　->  孔徑測量范圍：DN50～620mm；d  12.5～280mm

　　->  孔徑顯示當量：0.001mm

　　->  孔徑測量不確定度：0.005mm

　　->  開孔圓度測量不確定度：0.005㎜

　　->  驅(qū)動電機：DC微型電機

　　->  測力：雙向測力機構，測力達1N后自動發(fā)訊

　　->  測量時間：12.5～280mm孔徑范圍內(nèi)，可根據(jù)被測孔徑公稱直徑設置測量時間

　　◆  Z軸測量參數(shù)

　　->  測量范圍：0～25mm

　　->  顯示當量：0.001mm

　　->  平面度、平行度測量不確定度：0.008mm

　　->  驅(qū)動電機：  DC微型電機

　　->  動作控制：具有提升、保持、下降、施壓穩(wěn)定后自動采樣功能。

　　◆  工作臺參數(shù)

　　->  工作臺直徑：200mm/300  mm

　　->  工作臺旋轉范圍：0～360゜

　　->  驅(qū)動電機：DC微型步進電機，最小步進角1.5゜

　　->  孔板夾持方式：真空泵吸附機械式緊固。

　　◆  Y軸運動參數(shù)

　　->  測量范圍：0～5mm

　　->  驅(qū)動電機：DC微型步進電機