石英晶體膜厚控制儀,石英晶體膜厚控制儀的分類,石英晶體膜厚控制儀參數(shù)指標(biāo)等
1、標(biāo)準(zhǔn)RS-232和USB（有以太網(wǎng)選件）。
2、貯存容量高至100個(gè)工藝過程，1，000個(gè)膜層，50個(gè)膜系。
3、用單傳感器或多傳感器監(jiān)測(cè)源材料，提供精確的源分布監(jiān)測(cè)。
4、高亮度，VGA活性點(diǎn)陣彩色LCD顯示器–可顯示英文或中文。
5、易設(shè)置和操作，有“快速設(shè)置”菜單，6個(gè)上下文-敏感的按鈕，和方便的參數(shù)設(shè)定旋鈕。
6、Window程序用于開發(fā)，測(cè)試，和下載工藝過程，和將儀器數(shù)據(jù)記錄至您的PC上，用于過程分析與質(zhì)量控制。
7、精確的過程控制，尤其用于低淀積率，在10讀值／秒時(shí)的分辨率為±0.03Hz，在0至50°C溫度范圍內(nèi)的頻率穩(wěn)定性為±2ppm。
◆ 頻率分辨率：在6.0 MHz時(shí)0.03 Hz
◆ 質(zhì)量分辨率：0.375 ng／cm2
◆ 感應(yīng)晶片頻率：2.5， 3， 5， 6， 9.5， 10 MHz
◆ 膜厚顯示：0.000～ 999.9 K＆Aring；
◆ 成膜速率：00.0～999 Ang／sec (0～9.99μm／min)
◆ 膜層數(shù)量：1～999
◆ 圖形顯示：256×64 LCD ，CCFL背景照明
◆ 全套配置
◆ MDC360C主機(jī) 一臺(tái)、振蕩器及電纜線 一套、探頭 一個(gè)、晶片 5片
◆ 主機(jī)尺寸：16.98×3.47×9.355(單位：英寸)、前面板寬度18.98英寸
