FBAR,FBAR的分類(lèi),FBAR參數(shù)指標(biāo)等
FBAR的工作區(qū)由金屬底電極-壓電膜-金屬上電極組成，器件工作于能陷-厚度振動(dòng)模式，工作頻率與壓電材料的厚度成反比。當(dāng)電信號(hào)加載到FBAR上時(shí)，器件中的壓電薄膜通過(guò)逆壓電效應(yīng)將電信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)槁曅盘?hào)，器件特點(diǎn)的聲學(xué)結(jié)構(gòu)對(duì)不同頻率的聲信號(hào)呈現(xiàn)出選擇性，其中的器件內(nèi)滿(mǎn)足聲波全反射條件的聲信號(hào)將在器件內(nèi)實(shí)現(xiàn)諧振，而不滿(mǎn)足諧振條件的聲信號(hào)就會(huì)衰減，在頻譜上與諧振聲信號(hào)頻率相差越多的聲信號(hào)衰減越快。最后，在器件內(nèi)幅度相位已產(chǎn)生差異的聲信號(hào)又通過(guò)壓電薄膜等比例地轉(zhuǎn)變成輸出電信號(hào)，這樣FBAR最終就表現(xiàn)出對(duì)電信號(hào)的選頻作用。FBAR與工作在千赫茲~兆赫茲的晶振中晶體諧振器及陶瓷濾波器中的陶瓷諧振器的工作原理是相同的。不同的是，一方面，F(xiàn)BAR的壓電膜厚度在微米量級(jí)，從而使其工作頻率可提高到吉赫茲級(jí)。另一方面，由于壓電膜太薄，使FBAR不可能象晶體諧振器那樣由壓電晶片來(lái)承托上下電極，因此FBAR必須有一個(gè)襯底，加工時(shí)先將金屬底電極蒸發(fā)或?yàn)R射到襯底上，然后在電極上沉積壓電薄膜，最后再在壓電薄膜上形成金屬上電極。
