FSI收到多套MAGELLAN®浸泡式清洗系統(tǒng)訂單
FSI國際有限公司日前宣布：一家世界領先的美國IC制造商已經向其發(fā)出一份訂單,訂購多套該公司的200/300mm MAGELLAN®浸泡式清洗系統(tǒng),此項訂單緣于MAGELLAN系統(tǒng)領先同類產品的微粒去除能力及刻蝕均勻度。該機臺將用于芯片生產,預計將于FSI國際的2007財年上半年發(fā)運。
“該客戶此前在其工廠中對MAGELLAN系統(tǒng)進行了全方位的評估,其結果是非常成功的,此項訂單正是對MAGELLAN卓越的工藝性能的進一步證明”。FSI國際董事長兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說到。“我們之所以打入十億美元的濕法平臺市場,是因為我們相信當時提供的技術還需完善。這份訂單充分證明了在成熟的市場中,通過提供帶有超群工藝性能的差異化產品,我們有相當的進入機會。”
MAGELLAN系統(tǒng)是一個200/300mm混用型機臺,系統(tǒng)具有無比的工藝性能和可配置性,它為應對高級IC研發(fā)和制造所帶來的挑戰(zhàn)而專門設計 。其領先業(yè)界的性能源于FSI獨有的表面張力剃度(STG™)清洗/干燥、SymFlow™刻蝕和MegaLens™超音波技術。MAGELLAN系統(tǒng)制程在各種類型的表面都不會留有水印,可實現高精度、超均勻膜刻蝕、高微粒去除效率以及異常瑕疵的控制。MAGELLAN系統(tǒng)售價范圍從150萬到500萬美元,價格取決于組件數量和最終配置。
