低溫制備:成本優(yōu)勢(shì)
發(fā)射極很�。旱臀�
寬帶隙發(fā)射極:低吸收,高Voc
高Voc:高轉(zhuǎn)換效率
低溫度系數(shù)(轉(zhuǎn)換效率對(duì)溫度不敏感):在溫度高地區(qū)使用
高耐輻射性能:可應(yīng)用在宇宙空間中
1.硅片清洗制絨
2.正面用PECVD制 備本征非晶硅薄膜 和P型非晶硅薄膜
3.背面用PECVD制備 本征非晶硅薄膜和N 型非晶硅薄膜
4.在兩面用濺射法 沉積透明導(dǎo)電氧化 物薄膜
5.絲網(wǎng)印刷制備電 極
1 非晶硅太陽(yáng)電池的研究,現(xiàn)在主要著重于改善非晶 硅膜本身性質(zhì),以減少缺陷密度。嚴(yán)格控制a-Si/cSi界面質(zhì)量,不斷降低缺陷態(tài)密度。
2 優(yōu)化光陷,降低反射率。
3 提高透明導(dǎo)電膜的電導(dǎo)率,透射率。