ATDF為Elpida開展FinFET存儲器研究
Sematech產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟的全資子公司Advanced Technology Development Facility(ATDF)已經(jīng)同意為Elpida Memory公司生產(chǎn)基于FinFET以及新型存儲器技術(shù)的晶圓。
ATDF與日本的主要DRAM制造商Elpida公司達成了兩個項目協(xié)議,評估2010年后使用的材料和工藝。ATDF將制造包含采用注入(inplant)和鰭片(fin)設(shè)計的非常規(guī)CMOS晶體管的晶圓。
Elpida公司首席技術(shù)官Takao Adachi表示,由于Elpida的開發(fā)設(shè)施的配置主要用于批量生產(chǎn),ADTF為其生產(chǎn)R&D原型產(chǎn)品恰好滿足了該公司對先進技術(shù)的需求。
自從ATDF公司在2004年作為一家公司存在出來,該公司已經(jīng)成為了多家公司的R&D代工廠,包括AMD、Infineon Technologies AG、Mattson Technology、Soitec SA和德州儀器公司。ATDF公司在2005年9月宣布與進行研究和工程咨詢的Thunderbird技術(shù)公司合作,開展稱為Fermi-FET的研究。
