從2005年開始,七星華創(chuàng)轉(zhuǎn)向8英寸設(shè)備的研發(fā)和制造,目前已開發(fā)出擴散爐、LPCVD、PECVD和單晶圓清洗的8英寸設(shè)備,盡管目前這些設(shè)備相較與先進工藝設(shè)備商還存在著一定的差距。據(jù)了解,七星華創(chuàng)將負(fù)責(zé)北京一家新建CMOS生產(chǎn)廠商整條生產(chǎn)線擴散部分設(shè)備的選擇、組裝、翻新和所有的技術(shù)支持。其中,將引入兩臺七星華創(chuàng)的擴散爐。基于這是一條標(biāo)準(zhǔn)的8英寸CMOS生產(chǎn)線,因此對七星華創(chuàng)設(shè)備的考核具現(xiàn)實意義。2005年七星華創(chuàng)與Aviza合作在中國當(dāng)?shù)?/div> 從2005年開始,七星華創(chuàng)轉(zhuǎn)向8英寸設(shè)備的研發(fā)和制造,目前已開發(fā)出擴散爐、LPCVD、PECVD和單晶圓清洗的8英寸設(shè)備,盡管目前這些設(shè)備相較與先進工藝設(shè)備商還存在著一定的差距。據(jù)了解,七星華創(chuàng)將負(fù)責(zé)北京一家新建CMOS生產(chǎn)廠商整條生產(chǎn)線擴散部分設(shè)備的選擇、組裝、翻新和所有的技術(shù)支持。其中,將引入兩臺七星華創(chuàng)的擴散爐�；谶@是一條標(biāo)準(zhǔn)的8英寸CMOS生產(chǎn)線,因此對七星華創(chuàng)設(shè)備的考核具現(xiàn)實意義。
2005年七星華創(chuàng)與Aviza合作在中國當(dāng)?shù)厣a(chǎn)Aviza的設(shè)備,七星華創(chuàng)主要幫助aviza做電源整體部件和框架,而設(shè)備的關(guān)鍵部件和整合還是在美國完成。2005年中芯國際太陽能生產(chǎn)線也采用了針對太陽能電池片生產(chǎn)線而設(shè)計的擴散爐設(shè)備和PECVD設(shè)備。目前,6個月的DEMO期接近尾聲,設(shè)備已經(jīng)進入了驗收評估階段。
七星華創(chuàng)副總經(jīng)理盛金龍認(rèn)為：集成電路產(chǎn)業(yè)若要健康發(fā)展走上成功之路,必定需要有本土的成熟完善的設(shè)備、材料供應(yīng)市場來支撐,集成電路制造廠商也應(yīng)積極扶持本土設(shè)備廠商,在必要的時候也要有所犧牲。而作為設(shè)備供應(yīng)商,也要努力做到系統(tǒng)部件與國際保持統(tǒng)一,建立統(tǒng)一的平臺,在技術(shù)和理念上與國際接軌,提高客戶對本土產(chǎn)品的接受程度。
