科技引領(lǐng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展－SEMICONJapan一瞥
匯聚26個(gè)國(guó)家1610家參展商的SEMICON Japan 12月1日至3日在日本Makuhari Messe召開(kāi)。日本半導(dǎo)體設(shè)備與材料供應(yīng)商充分利用了天時(shí)、地利、人和的優(yōu)勢(shì),Tokyo Electron、Screen、HitachiHigh-Technologies、Accretech、Ebara、TOK、Nikon和Canon等頂級(jí)公司均在豪華的展位上展示了領(lǐng)先的技術(shù)與產(chǎn)品。在日本半導(dǎo)體市場(chǎng)復(fù)蘇之時(shí),Applied Materials,KLA-Tencor,SEZ等歐美半導(dǎo)體設(shè)備與材料廠商也加入了此次展示。穿梭于11個(gè)展館中,從開(kāi)館到閉館,永遠(yuǎn)能看到眾多觀眾與廠商交流的紅火場(chǎng)面,熱鬧程度勝于人流如潮的SEMICON China。
Lithius Coater & Developer是TEL在屆展會(huì)展示的重點(diǎn)之一,改進(jìn)的設(shè)計(jì)使該系統(tǒng)單一單元產(chǎn)出提高到了150wph,同時(shí)更加精確控制的爐溫設(shè)計(jì)拓展了其應(yīng)用于高端市場(chǎng)的能力。TEL中國(guó)區(qū)總裁陳捷也指出,TEL可以根據(jù)客戶的需要調(diào)整控制的精確度,以控制整體系統(tǒng)的成本 。另外,TEL與Nikon和ASML合作開(kāi)發(fā)出了Lithius i系統(tǒng),特別適合于浸入式光刻工藝。TEL Clean Track部門(mén)的高松渚說(shuō),自今年年初TEL推出Lithius系列產(chǎn)品以來(lái),在全球已銷(xiāo)售了超過(guò)70臺(tái)設(shè)備。
東精精密（Accretech）的激光劃片機(jī)是業(yè)界第一臺(tái)采用非接觸方法進(jìn)行精確劃片的系統(tǒng)。"傳統(tǒng)劃片系統(tǒng)需要去除18um寬的硅片以分離芯片,而采用MahohDicing 系統(tǒng)劃片去除的硅片只有1um。"Accretech服務(wù)工程師楊志堅(jiān)說(shuō)。這無(wú)疑使整個(gè)晶圓的產(chǎn)出有了更多的提升空間。MahohDicing 系統(tǒng)采用激光光源改變硅片內(nèi)部的性質(zhì),以300mm/s的速度進(jìn)行劃片定位,然后稍加外力,即可將芯片分離。而且該方法沒(méi)有芯片的破損與邊緣碎裂現(xiàn)象,純干法工藝不需要?jiǎng)澠蟮那逑础?BR>以真空泵起家的Ebara公司不僅在CMP已坐上了第二把交椅,而且正蓄勢(shì)進(jìn)入檢測(cè)領(lǐng)域。其電子束面掃描檢測(cè)技術(shù)與傳統(tǒng)電子束點(diǎn)檢測(cè)技術(shù)相比,將成倍加快檢測(cè)的速度。該系統(tǒng)將首先應(yīng)用與Cu CMP后缺陷的檢測(cè),而后拓展到更寬的領(lǐng)域。Ebara 精密儀器部市場(chǎng)部林広太介紹說(shuō),采用電子束面掃描專利技術(shù)的檢測(cè)系統(tǒng)將于近期向市場(chǎng)推出。
應(yīng)用于半導(dǎo)體前道與后道、FPD、PCB、MEMS等領(lǐng)域的光刻膠供應(yīng)商TOK此次展示了其新研發(fā)成功,并已進(jìn)入小批量生產(chǎn)的ArF光刻膠。創(chuàng)建于1936年的TOK一直緊跟著科技發(fā)展的腳步。TOK已在中國(guó)長(zhǎng)春設(shè)立了制造廠。
Hitachi High-Technologies在電子束直寫(xiě)、干法刻蝕、檢測(cè)與量測(cè)等領(lǐng)域都擁有產(chǎn)品,該公司半導(dǎo)體裝置部項(xiàng)目經(jīng)理賴正殷介紹,其SEM檢測(cè)系統(tǒng)擁有全球80％的市場(chǎng)占有率。
作為Web Bench清洗設(shè)備領(lǐng)先供應(yīng)商,Screen似乎已明顯意示到單晶圓技術(shù)的未來(lái)市場(chǎng)潛力,其市場(chǎng)部助理經(jīng)理淺野徹介紹,Screen單晶圓清洗系統(tǒng)銷(xiāo)售額已占公司整體的20％,接近了其Wet Station30%的比例。淺野徹經(jīng)常往來(lái)于中國(guó)和日本,中國(guó)市場(chǎng)已占Screen的20％。
Applied Materials再次將其Reflexion LK CMP系統(tǒng)展示在SEMICON展會(huì)上;單晶圓清洗系統(tǒng)領(lǐng)先供應(yīng)商SEZ宣布了其Da Vinci系統(tǒng)繼續(xù)贏得日本公司的定單;Aviza不僅給爐子起了個(gè)好聽(tīng)的名字RVP(Rapid Vertical Processing),而且其Mini設(shè)計(jì)非常適合ASIC的小批量生產(chǎn)和Foundry模式的生產(chǎn)。Micronic為七代TFT設(shè)計(jì)的新型激光圖形發(fā)生器采用了獨(dú)特的Z方向校準(zhǔn),對(duì)大面板由于重力引起的表面凹凸自動(dòng)修正,大大提高了精確度。
