8月31日,上海浦東龍東商務(wù)酒店,由《EMChina電子制造》和《SemiconductorInternational半導(dǎo)體國(guó)際》中文版組織的半導(dǎo)體清洗技術(shù)研討會(huì)吸引了156名工程師、教授與技術(shù)經(jīng)理匯集一堂,與來(lái)自中芯國(guó)際、SEZ、AppliedMaterials、Mykrolis、MarchPlasmaSystems和FSI的技術(shù)專家共同探討半導(dǎo)體清洗相關(guān)技術(shù)。技術(shù)專家的精彩演講以及與聽(tīng)眾的問(wèn)答讓會(huì)場(chǎng)成為了技術(shù)交流與互動(dòng)的世界。應(yīng)用材料（AppliedMaterials）公司的陳翰文博士關(guān)于Oasis清
8月
31日,上海浦東龍東商務(wù)酒店,由《
EMChina
電子制造》和《Semiconductor International半導(dǎo)體國(guó)際》中文版組織的半導(dǎo)體清洗技術(shù)研討會(huì)吸引了156名工程師、教授與技術(shù)經(jīng)理匯集一堂,與來(lái)自中芯國(guó)際、SEZ、Applied Materials、Mykrolis、March Plasma Systems和
FSI的技術(shù)專家共同探討半導(dǎo)體清洗相關(guān)技術(shù)。技術(shù)專家的精彩演講以及與聽(tīng)眾的問(wèn)答讓會(huì)場(chǎng)成為了技術(shù)交流與互動(dòng)的世界。
應(yīng)用材料（Applied Materials）公司的陳翰文博士關(guān)于Oasis清洗技術(shù)的介紹讓中國(guó)工程師第一次了解到了Applied Materials的單晶圓清洗產(chǎn)品與技術(shù),而其可同時(shí)雙面清洗的獨(dú)特技術(shù)無(wú)疑引起了觀眾的興趣;SEZ的Lucy Chen關(guān)于刻蝕后有機(jī)殘余物清洗的解決方案介紹引來(lái)了長(zhǎng)達(dá)半小時(shí)的問(wèn)答,作為單晶圓清洗技術(shù)的主導(dǎo)廠商之一,SEZ的解決方案的每一個(gè)細(xì)節(jié)都成為了工程師的關(guān)注點(diǎn);Mykrolis的郭敏關(guān)于高純水處理技術(shù)的演講讓我們看到了微觀水世界,而清除雜質(zhì)的過(guò)程也有如此多的學(xué)問(wèn) ;March Plasma Systems公司的Jack Zhao博士在等離子領(lǐng)域已擁有
10年的經(jīng)驗(yàn),他關(guān)于Plasma的從基礎(chǔ)知識(shí)到應(yīng)用的演講讓我們上了一堂關(guān)于等離子的講座,而在座的來(lái)自半導(dǎo)體封測(cè)廠工程師不間斷的問(wèn)題也反應(yīng)了人們對(duì)等離子清洗技術(shù)的關(guān)心;FSI公司的Charles Lin博士對(duì)于FSI獨(dú)到的Batch Spray技術(shù)的介紹讓我們看到了另一種具有高清洗效率解決方案;中芯國(guó)際的Victor Luo關(guān)于DRAM的背面蝕刻方案也值得國(guó)內(nèi)同行的參考。
從上午9點(diǎn)持續(xù)到下午5點(diǎn)的研討會(huì)無(wú)疑給工程師不少的技術(shù)收獲,由SEZ捐贈(zèng)的Nokia
手機(jī)和FSI捐贈(zèng)的
MP3、和優(yōu)盤分別被來(lái)自中芯國(guó)際、華虹
NEC、沈陽(yáng)芯源和江蘇長(zhǎng)電的13名工程師和技術(shù)經(jīng)理幸運(yùn)的獲得。
