由美國(guó)諾發(fā)系統(tǒng)公司（NovellusSystems）與復(fù)旦大學(xué)合作成立的“復(fù)旦-諾發(fā)互連研究中心”近日正式投入運(yùn)行。據(jù)悉,該研究中心是目前中國(guó)唯一主要從事銅互連技術(shù)的研究機(jī)構(gòu)。復(fù)旦-諾發(fā)互連研究中心由復(fù)旦大學(xué)和諾發(fā)公司于2003年10月聯(lián)合成立,旨在建成為一個(gè)先進(jìn)銅互連工藝技術(shù)的研究中心,為復(fù)旦及國(guó)內(nèi)其它院校、科研機(jī)構(gòu)的相關(guān)專(zhuān)業(yè)學(xué)生、研究人員,以及諾發(fā)的本地客戶(hù)服務(wù)。據(jù)介紹,此研究中心擁有諾發(fā)系統(tǒng)捐贈(zèng)給復(fù)旦大學(xué)價(jià)值1200萬(wàn)美元
由美國(guó)諾發(fā)系統(tǒng)公司（Novellus Systems）與復(fù)旦大學(xué)合作成立的“復(fù)旦-諾發(fā)互連研究中心”近日正式投入運(yùn)行。據(jù)悉,該研究中心是目前中國(guó)唯一主要從事銅互連技術(shù)的研究機(jī)構(gòu)。
復(fù)旦-諾發(fā)互連研究中心由復(fù)旦大學(xué)和諾發(fā)公司于
2003年
10月聯(lián)合成立,旨在建成為一個(gè)先進(jìn)銅互連工藝技術(shù)的研究中心,為復(fù)旦及國(guó)內(nèi)
其它院校、科研機(jī)構(gòu)的相關(guān)專(zhuān)業(yè)學(xué)生、研究人員,以及諾發(fā)的本地客戶(hù)服務(wù)。據(jù)介紹,此研究中心擁有諾發(fā)系統(tǒng)捐贈(zèng)給復(fù)旦大學(xué)價(jià)值1200萬(wàn)美元的一整套銅半導(dǎo)體工藝設(shè)備,包括PECVD、
PVD、ECD、
CMP等設(shè)備。據(jù)了解,Novellus工程技術(shù)人員已為該中心安裝了全部設(shè)備,并調(diào)試完畢了兩臺(tái)設(shè)備。
復(fù)旦大學(xué)校長(zhǎng)王生洪（右）與Novellus CEO Richard Hill（中）在“復(fù)旦－諾發(fā)互連研究中心”投入運(yùn)行宣布儀式上
半導(dǎo)體工藝可以簡(jiǎn)單分為晶體管和互連工藝,據(jù)稱(chēng)用于互連的設(shè)備投資已占總體設(shè)備投資的一半。“各大頂級(jí)半導(dǎo)體公司新增產(chǎn)能中采用的互連設(shè)備幾乎都是銅互連,包括DRAM和
存儲(chǔ)器生產(chǎn)廠(chǎng)在向更窄工藝尺寸的轉(zhuǎn)移過(guò)程中,也將考慮用銅替代鋁,”Novellus的CTO兼整合與先進(jìn)發(fā)展部執(zhí)行副總裁Wilbert van den Hoek說(shuō)。在中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展的今天,“復(fù)旦-諾發(fā)互連研究中心”的成立,必將為中國(guó)的晶圓制造廠(chǎng)在今后的1~2年內(nèi)大量采用銅互連技術(shù),提供一個(gè)高水平的技術(shù)研發(fā)及人才培養(yǎng)基地。
