根據(jù)該理解備忘錄,SEMI和IEEE將確定有關(guān)聯(lián)絡(luò)事宜,說(shuō)明定期的信息交流計(jì)劃并安排定期召開聯(lián)合會(huì)議。備忘錄中還提供各自委員會(huì)會(huì)議的最新資料并發(fā)布關(guān)于納米技術(shù)和微電子機(jī)械系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)信息。
IEEE標(biāo)準(zhǔn)協(xié)會(huì)正在積極推進(jìn)其納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn),并預(yù)計(jì)在2005年出臺(tái)碳納米管的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)。同樣,SEMI的MEMS動(dòng)議也顯示了對(duì)這一標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)注。
“該備忘錄將對(duì)納米技術(shù)、MEMS和其他涉及電子裝置性能的新興領(lǐng)域內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)系列發(fā)展起巨大的推動(dòng)作用,”IEEE標(biāo)準(zhǔn)協(xié)會(huì)的執(zhí)行董事Judith Gorman指出,“未來(lái)的熱點(diǎn)領(lǐng)域可能包括有機(jī)物、分子、碳納米管及硅納米基裝置。這份剛簽署的備忘錄只是我們雙方長(zhǎng)期協(xié)作的第一步,在此過(guò)程中,雙方將互通有無(wú),共享專知,必能互惠互利,造福整個(gè)行業(yè)�!�
“納米技術(shù)發(fā)展引起廣泛關(guān)注的今天,這份協(xié)議的制定可謂適逢其時(shí)�!盨EMI的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和MEMS總監(jiān)Bettina Weiss說(shuō),“我們希望通過(guò)在開發(fā)周期的早期啟動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)制定工作,加速商業(yè)化,降低成本,提高生產(chǎn)率,從而推進(jìn)整個(gè)行業(yè)的發(fā)展。SEMI所制定的標(biāo)準(zhǔn)將廣泛見于材料、工具和接口等領(lǐng)域,而IEEE標(biāo)準(zhǔn)則主要涉及測(cè)試方法、材料、裝置、可互操作性和其它議題。”
SEMI標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目包括半導(dǎo)體工藝設(shè)備和材料制造的各個(gè)方面,從晶片制造、測(cè)試、組裝及包裝到平面顯示器和MEMS的制造。SEMI在各大市場(chǎng)的高新技術(shù)生產(chǎn)領(lǐng)域均占有一席之地,尤其納米技術(shù)的重要應(yīng)用領(lǐng)域——半導(dǎo)體領(lǐng)域。