SpartanTMPortal制式大氣設(shè)備前端模塊(簡稱EFEM)及Spartan處理界面方案主要用于解決復(fù)雜的交互操作時所產(chǎn)生的問題,以及其它因為多重供貨商不同的自動控制環(huán)境所衍生出來的種種問題。Spartan處理界面的目的在建造一個專門為制式大氣晶圓處理解決方案所設(shè)計的平臺。它包含一個完成核心工作-將晶圓從貨架放到工具上不斷來回的程序所需要的最小格局和最簡設(shè)計,同時還可保持高度的潔凈和效率。不但可以提供更高的產(chǎn)出并減少微粒數(shù)量,設(shè)
SpartanTM Portal制式大氣設(shè)備前端
模塊(簡稱EFEM) 及Spartan處理界面方案主要用于解決復(fù)雜的交互操作時所產(chǎn)生的問題,以及
其它因為多重供貨商不同的自動控制環(huán)境所衍生出來的種種問題。
Spartan處理界面的目的在建造一個專門為制式大氣晶圓處理解決方案所設(shè)計的平臺。它包含一個完成核心工作-將晶圓從貨架放到工具上不斷來回的程序所需要的最小格局和最簡設(shè)計,同時還可保持高度的潔凈和效率。不但可以提供更高的產(chǎn)出并減少微粒數(shù)量,設(shè)計上也不復(fù)雜,更具可靠性、交互操作性和整合性,更輕巧,且比任何性能相同的系統(tǒng)更省電。其設(shè)計特色包括：擁有國際標(biāo)準(zhǔn)組織認證第一級或更佳的整合式迷你無塵式環(huán)境,主動式晶圓邊緣抓取接觸設(shè)計,一到四個FOUP平臺的整合配置,由主要計算機或系統(tǒng)控制計算機來操控,可選擇加裝晶圓事先
校正設(shè)備和光學(xué)辨識技術(shù)(
OCR)能力。 Asyst科技公司
