光柵尺--利用光的干涉和衍射原理制作而成的傳感器。當(dāng)兩塊柵距相同的光柵疊放在一起,同時(shí)讓線紋構(gòu)成一微小角度,這時(shí)在平行光照射下,與刻線垂直方向上就能看到對稱分布的明暗相間的條紋,稱為莫爾條紋,因此莫爾條紋是光的衍射和干涉作用的總效果。當(dāng)光柵移動(dòng)一個(gè)小柵距時(shí),莫爾條紋隨之移動(dòng)一個(gè)條紋間距,這樣,我們測量莫爾條紋的寬度就比測量光柵線紋寬度容易的多。此外,由于每條莫爾條紋都是由許多光柵線紋的交點(diǎn)組成,當(dāng)線紋中有一條線紋有誤差時(shí)(間距不等或傾斜),這條有誤差的線紋和另一光柵線紋的交點(diǎn)位置將產(chǎn)生變化。但是,一條莫爾條紋是由許多光柵線紋交點(diǎn)組成,因此,一個(gè)線紋交點(diǎn)位置的變化,對于一條莫爾條紋來講其影響就非常小了,所以莫爾條紋可以起到放大和平均的作用。
磁柵尺--利用磁極的原理制作而成的傳感器;呤潜痪鶆虼呕匿搸А和N極均勻間隔排列在鋼帶上,通過讀數(shù)頭讀取S,N極的變化來記數(shù)。
光柵尺受溫度影響較大,一般使用環(huán)境在40攝士度以下。(三坐標(biāo)測量機(jī)一般都要求在恒溫橫濕環(huán)境下測量,保證測量精度。)
敞開式磁柵尺容易受磁場影響,封閉式磁柵尺則無此困擾,但成本較高。