功率模塊的封裝外形各式各樣,新的封裝形式日新月異,一般按管芯或芯片的組裝工藝及安裝固定方法的不同,主要分為壓接結(jié)構(gòu)、焊接結(jié)構(gòu)、直接敷銅DBC基板結(jié)構(gòu),所采用的封裝形式多為平面型以及,存在難以將功率芯片、控制芯片等多個不同工藝芯片平面型安裝在同一基板上的問題。為開發(fā)高性能的產(chǎn)品,以混合IC封裝技術(shù)為基礎的多芯片模塊MCM封裝成為目前主流發(fā)展趨勢,即重視工藝技術(shù)研究,更關注產(chǎn)品類型開發(fā),不僅可將幾個各類芯片安裝在同一基板上,而且采用埋置、有源基板、疊層、嵌入式封裝,在三維空間內(nèi)將多個不同工藝的芯片互連,構(gòu)成完整功能的模塊。
壓接式結(jié)構(gòu)延用平板型或螺栓型封裝的管芯壓接互連技術(shù),點接觸靠內(nèi)外部施加壓力實現(xiàn),解決熱疲勞穩(wěn)定性問題,可制作大電流、高集成度的功率模塊,但對管芯、壓塊、底板等零部件平整度要求很高,否則不僅將增大模塊的接觸熱阻,而且會損傷芯片,嚴重時芯片會撕裂,結(jié)構(gòu)復雜、成本高、比較笨重,多用于晶閘管功率模塊。 焊接結(jié)構(gòu)采用引線鍵合技術(shù)為主導的互連工藝,包括焊料凸點互連、金屬柱互連平行板方式、凹陷陣列互連、沉積金屬膜互連等技術(shù),解決寄生參數(shù)、散熱、可靠性問題,目前已提出多種實用技術(shù)方案。例如,合理結(jié)構(gòu)和電路設計二次組裝已封裝元器件構(gòu)成模塊;或者功率電路采用芯片,控制、驅(qū)動電路采用已封裝器件,構(gòu)成高性能模塊;多芯片組件構(gòu)成功率智能模塊。 DBC基板結(jié)構(gòu)便于將微電子控制芯片與高壓大電流執(zhí)行芯片密封在同一模塊之中,可縮短或減少內(nèi)部引線,具備更好的熱疲勞穩(wěn)定性和很高的封裝集成度,DBC通道、整體引腳技術(shù)的應用有助于MCM的封裝,整體引腳無需額外進行引腳焊接,基板上有更大的有效面積、更高的載流能力,整體引腳可在基板的所有四邊實現(xiàn),成為MCM功率半導體器件封裝的重要手段,并為模塊智能化創(chuàng)造了工藝條件。
MCM封裝解決兩種或多種不同工藝所生產(chǎn)的芯片安裝、大電流布線、電熱隔離等技術(shù)問題,對生產(chǎn)工藝和設備的要求很高。MCM外形有側(cè)向引腳封裝、向上引腳封裝、向下引腳封裝等方案。簡而言之,側(cè)向引腳封裝基本結(jié)構(gòu)為DBC多層架構(gòu),DBC板帶有通道與整體引腳,可閥框架焊于其上,引線鍵合后,焊上金屬蓋完成封裝。向上引腳封裝基本結(jié)構(gòu)也采用多層DBC,上層DBC邊緣留有開孔,引腳直接鍵合在下層DBC板上,可閥框架焊于其上,引線鍵合后,焊上金屬蓋完成封裝。向下引腳封裝為單層DBC結(jié)構(gòu),銅引腳通過DBC基板預留通孔,直接鍵合在上層導體銅箔的背面,可閥框架焊于其上,引線鍵合、焊上金屬蓋完成封裝。
綜觀功率模塊研發(fā)動態(tài),早已突破最初定義是將兩個或兩個以上的功率半導體芯片(各類晶閘管、整流二極管、功率復合晶體管、功率MOSFET、絕緣柵雙極型晶體管等),按一定電路互連,用彈性硅凝膠、環(huán)氧樹脂等保護材料密封在一個絕緣外殼內(nèi),并與導熱底板絕緣的概念,邁向?qū)⑵骷酒c控制、驅(qū)動、過壓過流及過熱與欠壓保護等電路芯片相結(jié)合,密封在同一絕緣外殼內(nèi)的智能化功率模塊時代。