。1)大面積:九十年代初第一代大面積玻璃基板(300mm×400mm)TFT-LCD生產(chǎn)線投產(chǎn),到2000年上半年玻璃基板的面積已經(jīng)擴大到了680mm×880mm),而預計在09年啟動的日本SHARP在大阪投資的10代線玻璃基板尺寸達到了2880mmX3080mm,該尺寸玻璃面板可裁切15片42寸的液晶電視。
。2)高集成度:用于液晶投影的1.3英寸TFT芯片的分辨率為XGA含有百萬個象素。分辨率為SXGA(1280×1024)的16.1英寸的TFT陣列非晶體硅的膜厚只有50nm,以及TAB ON GLASS和SYSTEM ON GLASS技術(shù),其IC的集成度,對設(shè)備和供應技術(shù)的要求,技術(shù)難度都超過傳統(tǒng)的LSI。
。3)功能強大:TFT最早作為矩陣選址電路改善了液晶的光閥特性。對于高分辨率顯示器,通過0-6V范圍的電壓調(diào)節(jié)(其典型值0.2到4V),實現(xiàn)了對象元的精確控制,從而使LCD實現(xiàn)高質(zhì)量的高分辨率顯示成為可能。TFT-LCD是人類歷史上第一種在顯示質(zhì)量上超過CRT的平板顯示器,F(xiàn)在人們開始把驅(qū)動IC集成到玻璃基板上,整個TFT的功能將更強大,這是傳統(tǒng)的大規(guī)模半導體集成電路所無法比擬的。
(4)低成本:玻璃基板和塑料基板從根本上解決了大規(guī)模半導體集成電路的成本問題,為大規(guī)模半導體集成電路的應用開拓了廣闊的應用空間。
。5)工藝靈活:除了采用濺射、CVD(化學氣相沉積)MCVD(分子化學氣相沉積)等傳統(tǒng)工藝成膜以外,激光退火技術(shù)也開始應用,既可以制作非晶膜、多晶膜,也可以制造單晶膜。不僅可以制作硅膜,也可以制作其他的Ⅱ-Ⅵ族和Ⅲ-Ⅴ族半導體薄膜。
。6)應用領(lǐng)域廣泛,以TFT技術(shù)為基礎(chǔ)的液晶平板顯示器是信息社會的支柱產(chǎn)業(yè),也技術(shù)可應用到正在迅速成長中的薄膜晶體管有機電致發(fā)光(TFT-OLED)平板顯示器也在迅速的成長中。