探針,探針的分類,探針參數指標等
探針根據電子測試用途可分為：
A、光電路板測試探針：未安裝元器件前的電路板測試和只開路、短路檢測探針，國內大部分的探針產品均可替代進口產品；
B、在線測試探針：PCB線路板安裝元器件后的檢測探針；高端產品的核心技術還是掌握在國外公司手中，國內部分探針產品已研發(fā)成功，可替代進口探針產品；
C、微電子測試探針：即晶圓測試或芯片IC檢測探針，核心技術還是掌握在國外公司手中，國內生產廠商積極參與研發(fā)，但只有一小部分成功生產。
探針根據主要類型可以分為：懸臂探針和垂直探針。
懸臂探針：劈刀型（Blade Type）和環(huán)氧樹脂型（Epoxy Type）
垂直探針：垂直型（Vertical Type）
電子探針有三種基本工作方式：點分析用于選定點的全譜定性分析或定量分析，以及對其中所含元素進行定量分析；線分析用于顯示元素沿選定直線方向上的濃度變化；面分析用于觀察元素在選定微區(qū)內濃度分布。
由莫塞萊定律可知，各種元素的特征X射線都具有各自確定的波長，通過探測這些不同波長的X射線來確定樣品中所含有的元素，這就是電子探針定性分析的依據。而將被測樣品與標準樣品中元素Y的衍射強度進行對比，就能進行電子探針的定量分析。當然利用電子束激發(fā)的X射線進行元素分析，其前提是入射電子束的能量必須大于某元素原子的內層電子臨界電離激發(fā)能。
