膜厚儀,膜厚儀的分類,膜厚儀參數(shù)指標(biāo)等
1,可以測(cè)量多層膜中每一層的厚度
2,三維的厚度型貌
3,遠(yuǎn)程控制和在線測(cè)量
4,可做150mm or 300mm 的大范圍的掃描測(cè)試
5,豐富的材料庫(kù):操作軟件的材料庫(kù)帶有大量材料的n和k數(shù)據(jù),基本上的常用材料都包括在這個(gè)材料庫(kù)中.用戶也可以在材料庫(kù)中輸入沒(méi)有的材料.
6,軟件操作簡(jiǎn)單,測(cè)速快:膜厚測(cè)量?jī)x操作非常簡(jiǎn)單,測(cè)量速度快:100ms-1s.
7,軟件帶有構(gòu)建材料結(jié)構(gòu)的拓展功能,可對(duì)單/多層薄膜數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合分析,可對(duì)薄膜材料進(jìn)行預(yù)先模擬設(shè)計(jì).
8,軟件帶有可升級(jí)的掃描功能,進(jìn)行薄膜二維的測(cè)試,并將結(jié)果以2D或3D的形式顯示.軟件其他的升級(jí)功能還包括在線分析軟件,遠(yuǎn)程控制模塊等
厚度測(cè)量:10納米-250微米; 可以選擇250nm-1100nm間任一波長(zhǎng),也可在該范圍內(nèi)選擇多波長(zhǎng)分析;
波長(zhǎng): 250-1100nm
厚度范圍: 10nm--250m
分辨率: 0,1nm
重復(fù)性: 0,3nm
準(zhǔn)確率: <1[%] (100nm--100m)
測(cè)試時(shí)間: 100ms -- <1s
分析層數(shù): 1-- 4
離光纖距離: 1-5mm
離鏡頭距離: 5mm-- 100mm
入射角度: 90°
光斑點(diǎn)大小: 400m
微光斑手段: 與顯微鏡聯(lián)用,1-- 20m with Microscope 10x/20x/50x MagnificatiON and MFA-Adapter;
光纖長(zhǎng)度: 2m (other lengthes on request)
