1954年制成了第一臺(tái)微波量子放大器,獲得了高度相干的微波束。
1958年A.L.肖洛和C.H.湯斯把微波量子放大器原理推廣應(yīng)用到光頻范圍。
1960年T.H.梅曼等人制成了第一臺(tái)紅寶石激光器。
1961年A.賈文等人制成了氦氖激光器。
1962年R.N.霍耳等人創(chuàng)制了砷化鎵半導(dǎo)體激光器。
以后,激光器的種類就越來越多。按工作介質(zhì)分,激光器可分為氣體激光器、固體激光器、半導(dǎo)體激光器和染料激光器4大類。近來還發(fā)展了自由電子激光器,大功率激光器通常都是脈沖式輸出。