激光干涉儀,激光干涉儀的分類,激光干涉儀參數(shù)指標(biāo)等
1D激光主要可以測量定位誤差
3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）
5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動角
5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：
1. 線性：0.5ppm .
2. 測量范圍：40米（1D可選80米）
3. 線性分辨力：0.001um.
4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值
5. 最大范圍：800角秒
6. 滾動角精度：1.0角秒
7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值
8. 直線度最大范圍：500um
9. 垂直度精度：1角秒
10. 溫度精度：0.2攝氏度
11.濕度精度：5%
12.壓力精度：1mmHg
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角
2. 設(shè)計用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器最長的控制距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機(jī)床動態(tài)特性
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計緊湊、體積小，測量機(jī)床時不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間
