壓阻式傳感器,壓阻式傳感器的分類,壓阻式傳感器參數(shù)指標等
這種傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。壓阻式傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片(N型)定域擴散4條P雜質電阻條,并接成全橋，其中兩條位于壓應力區(qū)，另兩條處于拉應力區(qū)，相對于膜片中心對稱。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴散制作電阻條 ，兩條受拉應力的電阻條與另兩條受壓應力的電阻條構成全橋。
�、谟捎谒捎眉呻娐饭に嚰庸�，因而結構尺寸小，重量輕。
③壓力分辨率高，它可以檢測出像血壓那么小的微壓。
�、茴l率響應好，它可以測量幾十千赫的脈動壓力。
⑤由于傳感器的力敏元件及檢測元件制在同一塊硅片上，所以它工作可靠，綜合精度高，且使用壽命長。
�、抻捎诓捎冒雽w材料硅制作，傳感器對溫度比較敏感，如不采用溫度補償，其溫度誤差較大。
