為了減少測(cè)量產(chǎn)生的誤差,現(xiàn)已形成光柵角位移測(cè)量系統(tǒng)。
光柵角位移測(cè)量系統(tǒng)利用光柵副產(chǎn)生光信號(hào)的原理由光柵角位移傳感器感受角位移量并用光柵數(shù)顯表顯示其值的角度測(cè)量系統(tǒng)。測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)具有兩個(gè)特性:一、電磁兼容能力,受干擾時(shí)示值變化量應(yīng)不大于一個(gè)脈沖數(shù);二、可靠性測(cè)量系統(tǒng)的平均無(wú)故障工作時(shí)間(MTBF)應(yīng)不少于3000h。
在國(guó)內(nèi)20世紀(jì)80年代已經(jīng)可以制造很精密在光柵了,而現(xiàn)在由于很多精密儀器或者設(shè)備都在使用精密光柵,所以國(guó)內(nèi)在光柵位移傳感器這方面做在還是比較先進(jìn)的。