1. 真空度測量范圍: 9.999×10-1~1×10-5
2. 離子電流測量范圍: 9.999×10-1~1×10-7
3. 測 量 誤 差: <10%
4. 測 量 分 辨 率: 10-5pa
5. 允許環(huán)境溫度: -20℃~50℃
6. 空 氣 濕 度: ≤80%RH
7. 電 源: AC,220V,50Hz±10%
8. 外 型 尺 寸: 420×290×210(mm)
9. 高 壓 輸 出: 脈沖30kV15kHz
、 重 量: 8kg
1、CPU主控單元
該部分用于接收用戶指令,控制顯示器進(jìn)行各種顯示,產(chǎn)生高壓單元所需的脈沖信號,及對磁控電流控制單元發(fā)出各種控制指令,負(fù)責(zé)整個測量過程的精確時序控制,該單元是整個系統(tǒng)的主體。
2、高壓與磁控電流控制板