1、可靠的精度及重現(xiàn)性
恒電流源(1nA~20mA)采用六級(jí)電流范圍設(shè)置,將可以接收的誤差降到最低;范德堡法則轉(zhuǎn)換使用非接觸裝置有效降低儀器噪聲;軟硬件有針對(duì)性的設(shè)計(jì),確保每個(gè)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)均為多次測(cè)試的平均值,使儀器擁有非常好的數(shù)據(jù)重現(xiàn)性。
2、產(chǎn)品小型化及操作簡(jiǎn)單化
小尺寸的磁場(chǎng)強(qiáng)度輸入系統(tǒng)使用永磁體和液氮低溫測(cè)量系統(tǒng)(77K),確保儀器操作非常簡(jiǎn)單;兩種不同尺寸的傳統(tǒng)樣品板(20*20mm、6*6mm)及帶彈簧夾片的樣品板(SPCB),使得不同尺寸不同材料的薄膜樣品更容易測(cè)量,區(qū)別于傳統(tǒng)樣品板的彈簧夾片樣品板使得霍爾電極制作更方便且對(duì)樣品損傷更小。
3、I-V曲線及I-R曲線測(cè)量
采用圖表的方式,測(cè)量探針?biāo)狞c(diǎn)(A、B、C、D)間電流-電壓及電流-電阻關(guān)系,并以此評(píng)判樣品的歐姆接觸好壞、了解樣品的基本的電學(xué)特性。
4、多樣的實(shí)驗(yàn)結(jié)果
實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到,可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier CONcentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)、電阻的縱橫比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等等。
電流源:
測(cè)量范圍: 1nA - 10 mA
輸出電壓: +/- 10V (+/-20V)
輸出電阻: typical 1013 Ohms
電流分辨率: 25 pA
電壓測(cè)量:
測(cè)量范圍: 10 mV - 10V(自動(dòng)量程選擇)
分辨率 : <500nV
輸入電阻: > 1013 Ohms
磁場(chǎng)范圍:0.45T~2T(牛津磁體);
電阻測(cè)量范圍: 1x10-3 Ohm - 1x109 Ohm
電阻率測(cè)量范圍: 1 x10-5 Ohm*cm - 1x107 Ohm*cm
載流子濃度范圍: 107 cm-3 - 1021 cm-3