根據(jù)測量原理不同,電容式傳感器可分為變面積型傳感器;變極距型傳感器;變介質(zhì)型傳感器。極距變化型一般用來測量微小的極距變化。面積變化型一般用于測量角位移或較大的線位移。介質(zhì)變化型常用于物位測量和各種介質(zhì)的溫度、密度、濕度的測定。
可進(jìn)行非接觸測量;
功率小、阻抗高;
電容器小幾十~幾百微法,具有高輸出阻抗;
本身發(fā)熱影響小;
可動質(zhì)量小,具有高的固有頻率動態(tài)響應(yīng)特性好;
靜電引力。O板間),工作所需作用力很小。