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透射電鏡,透射電鏡的分類,透射電鏡參數(shù)指標(biāo)等
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透射電鏡,透射電鏡的分類,透射電鏡參數(shù)指標(biāo)等  2011/10/3

目錄

  • 透射電鏡概述
  • 透射電鏡的結(jié)構(gòu)
  • 透射電鏡的原理
  • 透射電鏡的分類
  • 透射電鏡發(fā)展趨勢
透射電鏡

透射電鏡概述

  •   1958年,中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械研究所研制成功了我國第一臺透射電子顯微鏡,分辨率達(dá)2.5納米,20世紀(jì)70年代,透射電子顯微鏡的分辨率約為0.3納米(人眼的分辨本領(lǐng)約為0.1毫米)。透射電鏡是一種高分辨率、高放大倍數(shù)的顯微鏡,是材料科學(xué)研究的重要手段,能提供極微細(xì)材料的組織結(jié)構(gòu)、晶體結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分等方面的信息。透射電鏡把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān),因此可以形成明暗不同的影像。透射電鏡的分辨率為0.1~0.2nm,放大倍數(shù)為幾萬~幾十萬倍。由于電子易散射或被物體吸收,故穿透力低,必須制備更薄的超薄切片(通常為50~100nm)。其制備過程與石蠟切片相似,但要求極嚴(yán)格。

透射電鏡的結(jié)構(gòu)

  •   透射電鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電子學(xué)系統(tǒng)三大部分組成。

      (一)電子光學(xué)系統(tǒng)

      電子光學(xué)系統(tǒng)即電鏡的鏡體,基本上是一個電子透鏡系統(tǒng),一端是電子源,另一端是觀察和記錄系統(tǒng),中間是安裝樣品的裝置。

      1.照明系統(tǒng)

      由電子槍和聚光鏡組成。其作用是為成像系統(tǒng)提供一個亮度高、尺寸小、高穩(wěn)定的照明電子束。

      電子槍是電鏡的照明源,由燈絲陰極、柵極 (或稱韋氏圓筒)和加速陽極組成。

      聚光鏡的作用是將來自電子槍的電子會聚到樣品上,通過它來控制照明電子束斑大小,電流密度和孔徑角。

      2.成像系統(tǒng)

      包括樣品室、物鏡、中間鏡和投射鏡(或兩個中間鏡或兩個投射鏡構(gòu)成4~5個透鏡系統(tǒng))。

     。1)樣品室:室內(nèi)有樣品臺,電鏡的樣品載于載網(wǎng)上,載網(wǎng)放在樣品架(或稱樣品筒)上。

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