透射電鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電子學(xué)系統(tǒng)三大部分組成。
(一)電子光學(xué)系統(tǒng)
電子光學(xué)系統(tǒng)即電鏡的鏡體,基本上是一個電子透鏡系統(tǒng),一端是電子源,另一端是觀察和記錄系統(tǒng),中間是安裝樣品的裝置。
1.照明系統(tǒng)
由電子槍和聚光鏡組成。其作用是為成像系統(tǒng)提供一個亮度高、尺寸小、高穩(wěn)定的照明電子束。
電子槍是電鏡的照明源,由燈絲陰極、柵極 (或稱韋氏圓筒)和加速陽極組成。
聚光鏡的作用是將來自電子槍的電子會聚到樣品上,通過它來控制照明電子束斑大小,電流密度和孔徑角。
2.成像系統(tǒng)
包括樣品室、物鏡、中間鏡和投射鏡(或兩個中間鏡或兩個投射鏡構(gòu)成4~5個透鏡系統(tǒng))。
。1)樣品室:室內(nèi)有樣品臺,電鏡的樣品載于載網(wǎng)上,載網(wǎng)放在樣品架(或稱樣品筒)上。