微流量紅外氣體分析器,微流量紅外氣體分析器的結(jié)構(gòu)原理，性能特點，廠商
微流量紅外氣體分析器的原理結(jié)構(gòu)如圖。
1－毛細管氣流通道，2－第二層接收氣室，3－微流量傳感器，4－測量氣室，
5－切光片，6－切光片馬達，7－紅外光源，8－反射鏡，9－光學(xué)窗口，
10－可調(diào)滑片，11－第一層接收氣室，12－第三層接收氣室
紅外光源7被加熱到600℃時發(fā)射出紅外線，由切光片5調(diào)制成頻率為25/3Hz的間斷光束，經(jīng)測量氣室4進入檢測器的接收氣室。
接收氣室由填充了待測組分的多層串聯(lián)氣室組成，第一層吸收紅外輻射波帶中間位置的能量，第二層吸收邊界能量，二者之間通過微流量傳感器3連接在一起。當(dāng)切光片處于“接通”位置時，第一層接收氣室11填充的待測組分吸收紅外輻射能量后，受熱膨脹，壓力增大，氣流經(jīng)毛細管通道流向第二層接收氣室2；當(dāng)切光片處于“遮斷”位置時，第一層氣室填充氣體冷卻收縮，壓力減小，第二層氣室的氣流經(jīng)毛細管通道反向流回第一層氣室。切光片交替通斷，氣流往返流經(jīng)微流量傳感器，便在檢測器電橋兩端產(chǎn)生了交流信號，信號幅度大小與流經(jīng)傳感器的氣體流量成正比，而與待測組分的濃度成反比。
微流量傳感器中有兩個被加熱到大約120℃的鎳格柵，這兩個鎳格柵電阻和兩個輔助電阻形成惠斯通電橋。脈沖氣流反復(fù)流經(jīng)微流量傳感器，導(dǎo)致鎳格柵電阻阻值發(fā)生變化。
接收氣室采用串聯(lián)型結(jié)構(gòu)是為了消除干擾組分對測量結(jié)果的影響。在接收氣室中，除填充待測組分外，還根據(jù)被測氣體的組成填充一定比例的干擾組分。干擾組分在第一、二兩層氣室中對紅外輻射的吸收，產(chǎn)生的壓力作用方向相反，相互抵消。在ULTRAMAT23產(chǎn)品中，還設(shè)有第三層接收氣室12，其功能是延長二層氣室的光程長度，吸收紅外輻射邊緣能量，并可通過滑片調(diào)整三層氣室的透光孔徑大小，改變紅外吸收，最大限度地減少某個干擾組分的影響，作用相當(dāng)于一個可調(diào)光錐。
�。�1）雙光路的微流量紅外氣體分析器穩(wěn)定性好，可以在線使用。
（2）靈敏度高，可以分析微量氣體。
�。�3）檢測器結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉。
�。�4）檢測器可以串聯(lián)使用，適合同時分析多種組分。
�。�5）檢測器不怕振動，振動對儀器測量無影響。
