1 半導(dǎo)體型傳感器
以電阻型半導(dǎo)體傳感器為例:
主要以 SnO2 , ZnO,WO3 等金屬氧化物為氣敏材料 ,例如:國(guó)產(chǎn) QM系列氫氣傳感器就是以 SnO2 作為氫氣敏感材料 ,故也稱金屬氧化物半導(dǎo)體氫氣傳感器。其工作原理是:當(dāng)吸附氫氣后 ,氫氣作為施主釋放出電子 ,與化學(xué)吸附層中的氧離子結(jié)合 ,于是載流子濃度發(fā)生變化 ,該變化值與氫氣體積分?jǐn)?shù)存在一定的函數(shù)關(guān)系。
2 熱電型傳感器
首先 ,在基片上沉積一層熱電材料 ,然后 ,在熱電材料表面的某一部分沉積一層催化金屬 ,如 , Pt, Pd等 ,最后 ,分別在催化金屬層、熱電薄膜層 (表面上無(wú)催化金屬 )引出電極 ,即獲得最為簡(jiǎn)單的熱電型氫氣敏感元件。
當(dāng)此敏感元件暴露在含氫氣的環(huán)境中 在催化金屬的,作用下 ,氫氣與氧氣反應(yīng)生成水蒸汽并放出熱量 ,于是 ,沉積有催化金屬的一端溫度高 ,為熱端 ,無(wú)催化金屬的一端溫度低 ,為冷端 ,由于熱電材料的熱電發(fā)電效應(yīng) (Seebeck效應(yīng) ) ,將這種熱端與冷端之間的溫差轉(zhuǎn)換為溫差電勢(shì) ,以電信號(hào)的形勢(shì)輸出 ,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)氫氣的檢測(cè)。
3 光纖傳感器