表面聲波傳感器,表面聲波傳感器的分類,表面聲波傳感器參數(shù)指標(biāo)等
利用被鍘量對(duì)sAW元件作用，改變SAW的傳播速度，于是波長也相應(yīng)變化，進(jìn)而改變了通過延遲線的相位變化△ =2=L／X（L為延遲線長度），破壞了振蕩器的相位平衡條件，由于IDT有一定的迎頻帶，所以改變振蕩頻率，重新達(dá)到相位平衡條件。振蕩頻率變化和SAW 傳播速度變化應(yīng)滿足下列關(guān)系：
△f／f=△v／v （4）
表面聲波傳感器由于是利用振茴頻率變化測(cè)出傳播速度的變化， 所以它的靈敏度很高（百萬分之一）。同時(shí)， 它同數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)系統(tǒng)相適應(yīng)，對(duì)放大器的要求也不高。
表面聲波諧振器是一種頻率元件，如果采用一定的耦合方式，使待測(cè)溶液成為表面聲波諧振器振蕩電路的一部分，則溶液的電導(dǎo)率與介電常數(shù)的變化將反映為諧振器頻率的改變，由于表面聲波諧振器在10MHz以上的高頻下工作，而頻率測(cè)定具有很高的分辨率，所以應(yīng)用表面聲波制備的傳感器對(duì)溶液電導(dǎo)率和介電常數(shù)有靈敏的頻率響應(yīng)。
在一定的條件下，由于溶液溫度變化所引起的電導(dǎo)率和介電常數(shù)的改變，在表面聲波傳感器中相互抵消，使這種傳感器具有較經(jīng)典電導(dǎo)檢測(cè)器更低溫度系數(shù)，從而提高了信噪比，能夠在較高背景電導(dǎo)率下檢測(cè)電導(dǎo)率的細(xì)微改變。這一特性使它可以做為離子色譜的電導(dǎo)檢測(cè)器，特別是非抑制柱離子色譜的電導(dǎo)檢測(cè)。
表面聲波電導(dǎo)率與介電常數(shù)傳感器采用壓電石英晶體諧振器，因?yàn)槭⒌膲弘姵?shù)和機(jī)電耦合常數(shù)很小，使得進(jìn)一步提高靈敏度受到限制。我們發(fā)現(xiàn)使用四硼酸鋰和硅酸鑭鎵為材料制備的諧振器研制電導(dǎo)檢測(cè)器，比使用石英晶體的檢測(cè)器具有對(duì)電導(dǎo)率更高的響應(yīng)靈敏度，用這種傳感器作為離子色譜的檢測(cè)器，可以進(jìn)一步改善表面聲波離子色譜傳感器的響應(yīng)特性。
1.壓電材料和硅的混合集成將是表面聲波傳感器推向市場(chǎng)及工業(yè)領(lǐng)域的關(guān)鍵。
2.多功能集成表面聲波傳感器多重信息的分析算法研究，將是提高傳感器應(yīng)用水平的重要途徑。
