Optima能否助Axcelis重返市場(chǎng)第一？
據(jù)估計(jì),2006年半導(dǎo)體離子注入設(shè)備市場(chǎng)為14億美金,按比例劃分,HC（高電流）、MC（中電流）、HE（高能量）大約分占53%、29%、18%。其中占據(jù)半壁江山的高電流離子注入設(shè)備市場(chǎng)還具上升和擴(kuò)大的潛力。這就意味著贏得更多的HC市場(chǎng)份額就能主導(dǎo)整個(gè)離子注入設(shè)備市場(chǎng)。Axcelis Technologies資深市場(chǎng)副總裁Mike Namaroff表示,Axcelis希望能獲得HC一半以上的份額。
已經(jīng)開始出貨的Optima HD是Axcelis在此次SEMICON West期間主推的產(chǎn)品。早在今年的SEMICON China上,Axcelis就開始大張旗鼓的推廣其Optima系列。只是在主流技術(shù)還停留在180um,最先進(jìn)也僅是小規(guī)模量產(chǎn)的90nm工藝的中國(guó),基于市場(chǎng)需求和應(yīng)用,其重點(diǎn)放在了Optima MD上。據(jù)Mike Namaroff介紹,Optima HD整合了Spot Beam和RadiusScan燃際趵刺岣叱善仿室約安芎蛻璞傅牧榛钚�。设备功能的转换�ü煥胱釉蠢詞迪幀ptima HD Imax和Optima HD Hmax主要區(qū)別在于離子源的不同,針對(duì)不同應(yīng)用領(lǐng)域。Imax為分子摻雜,主要應(yīng)用于雙多晶硅柵和源漏擴(kuò)展區(qū)的摻雜;而Hmax氫離子源支持SOI晶圓的應(yīng)用。
器件特征尺寸的不斷縮小給離子注入技術(shù)帶來了諸多挑戰(zhàn)。源漏擴(kuò)展區(qū)雜質(zhì)注入位置的精確控制;HALO摻雜、多晶硅摻雜對(duì)劑量和能量的要求,還有能量污染等都需要在技術(shù)和設(shè)備研發(fā)中面臨挑戰(zhàn)和一系列需要解決的問題。同時(shí),設(shè)備的結(jié)構(gòu)也由批處理轉(zhuǎn)向更為靈活的單晶圓,Axcelis陸續(xù)推出的Optima系列產(chǎn)品均為單晶圓設(shè)備。在2005年,Axcelis收購(gòu)了Diamond Semiconductor Group,這是一家專著于R&D公司,規(guī)模不大,但卻開發(fā)了業(yè)界第一臺(tái)單晶圓高電流離子注入機(jī),這次收購(gòu)無疑使Axcelis如虎添翼,我們也能在2007年即將出貨的Optima HE上看到這次收購(gòu)產(chǎn)生的效益。
芯片制造商一直以來都為平衡持續(xù)采用新技術(shù)和ROI之間的關(guān)系而努力,對(duì)R&D的投資,和讓馬兒跑得更快就得讓它吃草是一個(gè)道理,新技術(shù)和新產(chǎn)品的成功開發(fā)帶來的利潤(rùn)和競(jìng)爭(zhēng)力,使任何公司都不會(huì)放棄R&D。據(jù)Mike Namaroff介紹,Axcelis用于R&D的費(fèi)用與總收入總是維持在一個(gè)相對(duì)穩(wěn)定的比例。除了占公司總收入80%的離子注入業(yè)務(wù)以外,Mike Namaroff表示,在干法去膠、UV Curing和RTP其他三塊領(lǐng)域?qū)⒏鶕?jù)市場(chǎng)需求,在適當(dāng)?shù)臅r(shí)機(jī)繼續(xù)加大R&D的投入,以增加產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力。同時(shí),隨著新材料在IC中的應(yīng)用和技術(shù)節(jié)點(diǎn)的前移,在Curing和RTP領(lǐng)域浮現(xiàn)了許多了新的應(yīng)用,這給包括Axcelis在內(nèi)提供了新的機(jī)遇。
Mike Namaroff同時(shí)還介紹了SEMI和ISMI共同倡導(dǎo)、由一些設(shè)備材料供應(yīng)商和芯片制造商共同參與的提高300mm晶圓廠生產(chǎn)效率的計(jì)劃,“small lot”是目前研究討論的方案之一,即把傳統(tǒng)25片裝晶圓盒和改良成6片裝晶圓盒,以此提高cycle time,同時(shí)努力提高晶圓的成品率。鑒于450mm晶圓高昂的成本,業(yè)界希望以此來推遲450mm尺寸晶圓的使用,估計(jì)在今年年底這一計(jì)劃將有階段性的結(jié)論公布。
2005年,Varian Semiconductor以41%的市場(chǎng)份額擊敗了Axcelis坐上了離子注入設(shè)備市場(chǎng)的頭把交椅,在競(jìng)爭(zhēng)激烈的半導(dǎo)體行業(yè)是永遠(yuǎn)不會(huì)奉行“不為最先,不恥最后”的,更何況在過去的10年中Axcelis表現(xiàn)甚優(yōu),可以相信,Axcelis是不甘屈于第二的。隨著Optima系列的全線出擊,能否為Axcelis挽回老客戶和贏回失去的市場(chǎng),我們拭目以待。
